Hadicová řešení pro polovodičový průmysl

Společnost APT Advanced Polymer Tubing, která je součástí skupiny Masterflex Group, rozšířila své strategické partnerství se společností Chemours. Chemours je výrobcem značky Teflon™. Pro zákazníky v polovodičovém průmyslu tato spolupráce spojuje materiálovou základnu společnosti Chemours s odbornými znalostmi společnosti APT v oblasti zpracování a použití fluorpolymerů – zejména u řešení hadic z vysoce čistého PFA přizpůsobených požadavkům zákazníků. Konkrétní výběr materiálu a jeho vhodnost se vždy posuzují na základě příslušných procesních požadavků, specifikací a schválení.

Skupina Masterflex zajišťuje kvalitu hadicových řešení pomocí kvalifikovaných zkušebních procesů a moderní zkušební techniky. Výrobky a konfekce jsou v definovaném rozsahu pravidelně kontrolovány, aby se ověřilo splnění příslušných požadavků na materiál, rozměry, zpracování a projektově specifické kvalitativní charakteristiky. U projektů pro OEM, Tier 1 a High-Purity jsou požadavky na zkoušky, dokumentace a kritéria schválení koordinovány v dostatečném předstihu.

Pro aplikace v polovodičovém průmyslu lze zvážit použití hadic z fluoropolymerů, jako jsou PFA, PTFE nebo FEP. Vhodné řešení hadic se volí na základě procesního média, požadavků na čistotu, teploty, tlaku, mechanického namáhání, montážní situace a způsobu připojení.

Hadice z PFA pro polovodičový průmysl může být vhodná v případech, kdy se v ní přepravují procesní chemikálie nebo vysoce čistá média a jsou kladeny vysoké požadavky na odolnost materiálu, čistotu a bezpečnost procesu. Vhodnost materiálu PFA pro konkrétní použití se vždy posuzuje na základě skutečných procesních parametrů a specifikací zákazníka.

Hadice z PFA a PTFE mohou – v závislosti na technickém schválení – sloužit jako součásti systémů pro mokré zpracování a dodávku chemikálií. Typickými spojovacími místy jsou propojení systémů pro dodávku chemikálií, čerpadel, filtrů, ventilů a procesních modulů. Pro dimenzování jsou relevantní zejména chemická látka, koncentrace, teplota, tlak a požadavky na čistotu.

Pro návrh odolné konstrukce potřebujeme v ideálním případě údaje o procesním médiu a jeho koncentraci, teplotě, provozním tlaku, rozměrech, poloměru ohybu, místě použití, požadavcích na čistotu a požadovaném typu připojení či konfiguraci. U sériových projektů jsou navíc důležité roční objemy, požadavky na kvalitu, požadavky na dokumentaci a řízení změn.

Hadicové sestavy na míru lze přizpůsobit konkrétním podmínkám montáže, geometrii hadic a způsobu připojení v rámci projektu OEM nebo Tier 1. Před schválením sériové výroby je třeba společně definovat technické požadavky, rozhraní, zkušební parametry a potřebnou dokumentaci.

V polovodičových zařízeních se v závislosti na daném procesu používají hadicová řešení pro stlačený vzduch, vakuum, teplonosná média, kapaliny, procesní chemikálie nebo suspenze. Příkladem je vedení vzduchu a kapalin v litografických zařízeních, vedení chemikálií v zařízeních pro mokré procesy a potrubí pro média v balicích a testovacích systémech. Výběr materiálu je třeba v každém jednotlivém případě ověřit s ohledem na daný proces a média.

Nákupčí by měli kromě materiálu a rozměrů zohlednit zejména specifikaci, médium, procesní podmínky, požadovanou úpravu, požadavky na kvalitu, rozsah dokumentace, schvalovací proces a plánované množství. Včasná technická koordinace pomáhá jasně definovat rozsah dodávky, rozhraní a požadavky na sériovou výrobu.

Dosažitelná čistota a bezprašnost hadicového řešení závisí na materiálu, výrobním procesu, montáži, balení a stanovených požadavcích na zkoušení a dokumentaci. U aplikací vyžadujících vysokou čistotu je třeba včas projednat specifické požadavky zákazníka. Patří sem například specifikace týkající se částic, odplyňování, čištění nebo balení, pokud jsou pro daný projekt relevantní.

Rozsah požadované dokumentace se sjednává individuálně pro každý projekt. V závislosti na použití sem mohou patřit technické specifikace, informace o materiálech, zkušební parametry, dokumenty o shodě, údaje o šaržích nebo sledovatelnosti, jakož i schválené výkresy. Které podklady jsou k dispozici a které jsou nezbytné, by mělo být jasně definováno před schválením sériové výroby.

Možné provedení závisí na materiálu hadice, rozměrech, provozních podmínkách a místě připojení v systému. Mezi relevantní faktory patří typ připojení, způsob utěsnění, montážní prostor, podmínky montáže a požadavky na čištění či vyměnitelnost. Konkrétní provedení by proto mělo být stanoveno ve spolupráci s konstrukčním a kvalitativním oddělením.

Sledovatelnost (COA) je zajišťována prostřednictvím procesu definovaného pro konkrétní projekt. Mezi možné složky patří označení, přiřazení šarže, dokumentace, stav kontroly nebo definované identifikační znaky. Požadovaný rozsah závisí na konkrétním použití, procesech zajištění kvality a požadavcích zákazníka.